サンプルSCANの測定手順

【測定手順】

  1. X線シャッターが閉じていることを確認する。
  2. 制御用PCのMAINパネル上の「DETECTOR」ボタンをクリックし、検出器架台制御用ソフトを立ち上げる。

  3. CCDを使用する場合は「II+CCD」、IPを使用する場合は「IP」ボタンをクリック。検出器の移動が完了するまで待機する。
  4. 制御用PCのMAINパネル上の「SAMPLE SCAN」ボタンをクリックし、サンプルSCAN測定用ソフトを立ち上げる。

  5. 使用する検出器にチェックを入れ、IC値データ保存先フォルダを指定する。

  6. 測定条件(x軸z軸それぞれの試料送り量μm、測定点数、および露光時間)を入力し、「Save」ボタンをクリックする。

  7. スキャン方向を選択する画面が開くので、所望のスキャンパターンをクリックして選択する。

  8. 検出器を測定待機状態にする。(手順についてはそれぞれの測定手順書を参照してください。)
  9. 「SCAN START」ボタンをクリックして測定を開始する。